寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器

寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器(MFC)適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱MEMS傳感器可以實現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成PI控制器，令MFC具備的控制特性。8712型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口，既提供模擬標準信號，也提供現(xiàn)場總線。8712型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。憑借良好的IP防護等級，使得該款質(zhì)量流量控制器尤其適合惡劣環(huán)境中的應(yīng)用。

寶德8712型大流量氣體質(zhì)量控制器主要特點：
標稱流量范圍：0.010 lN / min至80 lN / min
測量精度和重復性高
調(diào)控速度特別快
防護等級IP65
選配：現(xiàn)場總線接口

技術(shù)數(shù)據(jù)：
控制范圍：1:50
建立時間：<300秒
重復性：±0.1％F.S.
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
滿量程范圍1：5 ... 15000 mlN / min2）
校準氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大工作壓力：10 bar（145 psi），取決于閥的孔口
環(huán)境溫度：-10 ... + 50°C，其他要求
氣體溫度：-10 ... + 70°C（氧氣為-10 ... + 60°C）
建立時間：<3秒準確度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分鐘預(yù)熱時間后）
額定流量值是大值，可以控制的流量值被校準，該額定流量范圍定義了可能的額定流量范圍（滿量程值）。
指數(shù)N：流量相對于1.013巴和0℃。另外還有一個指數(shù)S可用，指的是1.013巴和20°C

測量原理：
實際流量由傳感器檢測。 這根據(jù)熱原理運行，該熱原理具有提供獨立于壓力和溫度的質(zhì)量流的優(yōu)點。總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到小的，特別設(shè)計的旁路通道whitchensures層流條件中。傳感器元件是芯片 浸入該流道的壁內(nèi)。 MEMS技術(shù)生產(chǎn)的芯片包含一個加熱電阻器和兩個溫度傳感器（熱電堆），它們在加熱器的上游和下游對稱布置。熱電堆的差分電壓是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的度量。 校準過程實現(xiàn)了傳感器信號與通過設(shè)備的總流量的分配。